产品技术
中科重仪致力于为半导体行业提供性能优越的国产化MOCVD高端设备和高品质服务。
scientific research-ORIENTED MOCVD SYSTEM
科研型 ZY316 MOCVD 设备
中科重仪与中国科学院半导体研究所合作研发了面向科研实验室的超宽工艺窗口科研型 MOCVD 系统。该设备采用灵活可靠的结构设计，适用于多种化合物半导体材料生长，有效提升科研水平。
OUR BENEFITs
产品优势
国产创新
坚持国产替代，采用自主可控的纯国产化核心部件。
优化成本
采用国产化耗材，有效降低设备运行成本。
维护方便
采用分体式气体流道，简化设备维护流程。
性能优越
优异的温场、流场均匀性和控制稳定性，实现外延片生长均匀，工艺可重复。
软件高效
全自动化操作系统和可视化数据分析系统，便于工艺优化，缩短研发周期。
辅助教学
结合 VR 虚拟仿真教学平台，模拟半导体材料生长全过程，加速科研人才培养。