产品技术
超宽工艺窗口，提供精确的温度、压力和气体流量控制，满足学术研究、材料科学实验和新材料开发需求，并可根据客户要求定制。
R&D MOCVD SYSTEM
研究型 MOCVD 设备
中科重仪半导体与中国科学院半导体研究所合作研发了面向科研实验室和中试型产线的MOCVD 系列设备。该设备具有自主知识产权，提供精确的温度、压力和气体流量控制，支持2-8英寸多种化合物半导体材料生长，具备优异的生长工艺稳定性和重复性，并可根据客户需求做定制化设计，充分满足学术研究、材料科学实验和新材料开发的需求，显著降低运行成本。
INNOVATIVE DESIGNS
三大创新设计
01.自动化控制与数据分析系统
可实现数据处理，原料流量控制，监控辅助设备运行状况等功能，并可进行生长参数预演，支持生长过程回放，进一步增强了系统功能和可靠性。
02.集成VR深度辅助教学系统
用于实验室运营维护和MOCVD及其配套设备模拟，以虚拟现实再现材料生长过程，将微观事物具象化，可缩短相关专业技能培训周期，减少成本支出。
03.用户可定制化
可根据客户需求定制气体管路数量和外延片尺寸（2-8"），满足不同材料的高质量外延生长。
OUR BENEFITS
产品优势
核心零部件及耗材国产化，技术自主可控，运行成本低
反应腔室温场、流场均匀性和稳定性优异
单炉可兼容 2~8英寸外延材料生长
基于模型的晶圆应力与翘曲控制系统，缩短工艺研发周期
全自动软件操作平台，包含可视化数据分析模块
可配套 VR 虚拟仿真教学平台，加速人才培养