第五届半导体技术暨应用展览会(SEMI-e)于2023年5月16日至5月18日在深圳举办,中科重仪受邀参加,总经理姚威振博士在同期举办的第三代半导体产业发展高峰论坛上作报告,取得了良好的反响。
SEMI-e以“芯机会·智未来”为主题,集中展示集成电路、电子元器件、第三代半导体材料和设备为一体的半导体产业链发展成果, 汇聚众多行业专家和学者,进一步加强全球半导体产业的交流与合作。
中科重仪的展位主要展示了围绕自主研发的具有自主知识产权的国产化 MOCVD 高端设备,以及利用该设备开生长的适用于电力电子领域的硅基氮化镓650V外延片产品。该产品各项指标表现优异,达到行业先进水平,吸引了众多与会者驻足参观、沟通洽谈。
此外,公司还推出了为科研机构及高校院所量身打造的科研型 ZY316MOCVD 设备。该设备设计灵活可靠,采用自主可控的纯国产化核心部件,具有温场、流场均匀性和控制稳定性,达到优异的外延片均匀性和工艺重复性,同时运营成本低,采购周期短,可助力化合物半导体的研发创新。
在 5 月 17 日同期举办的第三代半导体产业发展高峰论坛上,中科重仪总经理姚威振受邀作《高性能 Si 基 GaN 功率器件外延生长的解决(核心设备/材料)方案》主题演讲,探讨当前氮化镓材料优势、器件产业链和市场需求,并提出相对应解决方案。
展会期间,行业内专家和企业代表对中科重仪展出的 6 英寸硅基氮化镓外延片和自主研发的全国产化 MOCVD 设备表示高度赞扬。中科重仪成功与华为、比亚迪等多家企业代表进行了深入交流,展示了其在半导体材料生长和工艺方面的独特技术和实力。此次展览使中科重仪进一步提升了影响力,向行业内展示其在硅基氮化镓材料生长和工艺方面的领先技术,并为行业未来的发展探索提供了重要思路和可行性方案。